Parameter apa saja yang perlu dikendalikan di ruang bersih serta spesifikasi standar ISO terkait?
- Pada 2026-06-06 14:21:15
- Pendiri By
Manajemen inti ruang bersih berfokus pada tiga indikator utama: pengendalian partikel di udara, pengendalian suhu, dan pengendalian kelembapan, dengan ambang batas pengendalian spesifik yang ditetapkan oleh standar industri yang berwenang. Standar yang berlaku secara global adalah ISO 14644-1:2015, yang mengklasifikasikan tingkat kebersihan ruang bersih berdasarkan konsentrasi partikel tersuspensi per meter kubik udara. Penting untuk dicatat bahwa standar ini hanya menetapkan batas konsentrasi partikel akhir yang diizinkan, bukan parameter desain konstruksi seperti laju pergantian udara, yang ditentukan melalui perhitungan rekayasa khusus pada tahap perancangan ruang bersih.
1. Klasifikasi Ruang Bersih menurut ISO 14644-1:2015
| Kelas ISO | Jumlah partikel maksimum yang diizinkan ≥0,1 μm (butir/m³) | Jumlah partikel maksimum yang diizinkan ≥0,5 μm (butir/m³) | Kelas FS 209E Setara |
|---|---|---|---|
| ISO 1 | ≤10 | — | — |
| ISO 2 | ≤100 | — | — |
| ISO 3 | ≤1,000 | ≤35 | Kelas 1 |
| ISO 4 | ≤10,000 | ≤352 | Kelas 10 |
| ISO 5 | ≤100,000 | ≤3,520 | Class 100 |
| ISO 6 | ≤1,000,000 | ≤35,200 | Class 1,000 |
| ISO 7 | — | ≤352,000 | Class 10,000 |
| ISO 8 | — | ≤3,520,000 | Class 100,000 |
ISO Kelas 5 (ruang bersih kelas 100) memiliki ambang batas wajib: jumlah partikel berukuran ≥0,5 μm tidak boleh melebihi 3.520 per meter kubik. Tingkat pergantian udara hanya berfungsi sebagai metode implementasi teknik, bukan sebagai tolok ukur yang diwajibkan oleh peraturan.
2. Tingkat Pertukaran Udara: Tidak Ada Nilai Standar Tetap, Dihitung Berdasarkan Kondisi Proyek Tersendiri
Pertanyaan yang sering diajukan di industri berkaitan dengan laju pergantian udara standar untuk ruang bersih ISO Kelas 7, namun tidak terdapat nilai tetap yang berlaku secara universal. ISO 14644-4 (Desain, Konstruksi, dan Pengoperasian Uji Coba Ruang Bersih) hanya menyediakan kisaran yang direkomendasikan, bukan nilai-nilai ketentuan wajib, dan kriteria bervariasi di berbagai sektor industri:
● ISO Kelas 5 (Aliran Udara Unidireksional): Kisaran yang umumnya diterima di industri: 240–600 kali pergantian udara per jam (ACH). Dihitung berdasarkan kecepatan aliran udara laminar vertikal sebesar 0,36–0,54 m/s dan tinggi lantai hingga langit-langit sebesar 2,6–3 m, ACH setara teoretis berada pada kisaran 430–650. Meskipun 240 ACH layak untuk penggunaan praktis, hal itu akan memperpanjang waktu pembersihan diri ruangan.
● ISO Kelas 6: 50–60 ACH, secara luas diterapkan dalam manufaktur optik presisi dan perakitan komponen elektronik.
● ISO Kelas 7: 20~30 ACH. Standar nasional Tiongkok GB 50073-2013 merekomendasikan 15–25 ACH, sementara GMP mensyaratkan 20–30 ACH untuk area bersih farmasi Kelas C; parameter desain harus sesuai dengan spesifikasi yang berlaku pada masing-masing proyek di tengah adanya perbedaan tersebut.
● ISO Kelas 8: 10 ~ 20 ACH.
Dalam desain teknik praktis, laju pergantian udara akhir dihitung secara komprehensif dengan mempertimbangkan laju produksi partikel di dalam ruangan, kepadatan ocupansi penghuni, emisi panas peralatan, serta waktu autopurifikasi yang diperlukan, alih-alih menerapkan secara mentah-mentah nilai referensi empiris.
3. Spesifikasi Suhu dan Kelembapan Ditentukan oleh Proses Produksi
Sensitivitas termal dan higrometrik bervariasi secara signifikan di antara berbagai alur kerja manufaktur:
● Fotolitografi & inkubasi biologis:23±0,1℃, Kelembaban Relatif (RH) 50±2%. Fluktuasi suhu sebesar 0,5℃ saja dapat menyebabkan penyimpangan lebih dari 10% pada lebar garis fotolitografi, sehingga diperlukan persyaratan pengendalian yang sangat ketat.
● Pelapisan fotorésist, pengemasan, dan pengujian: 22±0,5℃, RH 45±5%.
● Perakitan dan inspeksi komponen presisi: 20~ 24℃, RH 40~ 60%.
● Gudang dan area non-produksi pendukung: 20~ 26℃, RH 40~ 60%.
4. Persyaratan Tekanan Diferensial untuk Pencegahan Kontaminasi Silang
Blok konfigurasi tekanan diferensial mencegah udara ambien yang terkontaminasi masuk ke ruang bersih yang terkendali:
● ≥10 Pa antara zona bersih dan area tidak bersih
● ≥10 Pa antara ruang bersih dan lingkungan luar ruangan
● ≥5 Pa antara ruang bersih dengan klasifikasi kebersihan yang berbeda
Tekanan diferensial ruangan diatur dengan menyesuaikan laju suplai udara segar dan volume pembuangan pada Unit Udara Pengganti (MAU). Tekanan positif yang tidak memadai menyebabkan masuknya udara kotor yang tidak tersaring; sedangkan tekanan positif yang berlebihan mengakibatkan pintu sulit dibuka dan konsumsi energi tambahan yang tidak perlu.