Parameter apa yang perlu dikontrol dalam ruang pembersih & spesifikasi standar ISO terkait

Manajemen inti cleanroom berfokus pada tiga indikator utama: kontrol partikel udara, kontrol suhu dan kontrol kelembaban, dengan batasan kontrol tertentu yang didefinisikan oleh standar industri otoritas. Standar yang dipakai secara global adalah ISO 14644-1:2015, Yang klasik nilai pembersih kamar berdasarkan konsentrasi partikel yang ditangguhkan per meter kubik udara. Sangat penting untuk mencatat bahwa standar ini hanya menjelaskan batas konsentrasi partikel akhir yang diizinkan bukan parameter desain konstruksi seperti tingkat perubahan udara, yang ditentukan melalui perhitungan teknik yang disesuaikan selama desain kamar bersih.

1. Klasifikasi Cleanroom berdasarkan ISO 14644-1:2015

ISO kelas 5 (kelas 100 ruang pembersih) menampilkan ambang batas wajib: hitungan partikel ukuran ≥ 0,5 μm tidak boleh melebihi 3,520 per meter kubik. Laju perubahan udara hanya berfungsi sebagai Metode implementasi teknik daripada tolok ukur wajib.

2. Tingkat perubahan udara: tidak ada nilai Default tetap, dihitung secara spesifik proyek

Pertanyaan industri yang sering mengakibatkan tingkat perubahan udara standar untuk ruang pembersih ISO Kelas 7, namun tidak ada nilai tetap universal. ISO 14644-4 (desain, konstruksi, dan ruang awal pembersih) hanya menyediakan rentang rekomendasi, bukan nilai peraturan wajib, dan kriteria bervariasi di seluruh sektor industri:

● ISO kelas 5 (aliran udara satu arah): Kisaran industri yang umum diterima: 240 ~ 600 perubahan udara per jam (ACH). Dihitung dari kecepatan aliran udara laminar vertikal dari 0.36 ~ 0.54 m/detik dan tinggi lantai ke langit-langit 2.6 ~ 3 m, ACH setara autentik jatuh antara 430 ~ 650. Sementara 240 ACH layak untuk penggunaan praktis, ini akan menyebabkan durasi pembersihan diri ruangan yang lebih panjang.

● ISO kelas 6: 50 ~ 60 ACH, banyak digunakan untuk manufaktur optik presisi dan perakitan komponen elektronik.

● ISO Class 7:20 ~ 30 ACH. Standar Nasional Tiongkok GB 50073-2013 merekomendasikan 15 ~ 25 ACH, sedangkan GMP mandeves 20 ~ 30 ACH untuk area bersih farmasi Kelas C; parameter desain harus sesuai dengan spesifikasi yang berlaku dari proyek individual amid perbedaan seperti itu.

● ISO kelas 8: 10 ~ 20 ACH.

Dalam desain teknik praktis, tingkat perubahan udara Akhir secara komprehensif komputasi referensi tingkat generasi partikel dalam ruangan, kepadatan hunian personel, perlengkapan Emisi panas dan memerlukan waktu pemurnian mandiri, bukannya aplikasi acak figur rujukan.

3. Spesifikasi suhu & kelembaban ditentukan oleh proses produksi

Sensitivitas termal dan higrometer bervariasi secara drastis di antara alur kerja manufaktur yang berbeda:

● Photolithography & inkubasi biologi:23 ± 0.1 ℃, kelembaban relatif (RH) 50 ± 2%. Fluktuasi suhu hanya 0.5 ℃ dapat menyebabkan lebih dari 10% penyimpangan dalam lebar garis fotolitografi, oleh karena itu persyaratan kontrol yang ketat.

● Pelapisan, kemasan, dan pengujian fotoresist: 22 ± 0,5 ℃, RH 45 ± 5%.

● Perakitan & inspeksi komponen presisi: 20 ~ 24 ℃, RH 40 ~ 60%.

● Gudang dan Kawasan non-produksi tambahan: 20 ~ 26 ℃, RH 40 ~ 60%.

4. Persyaratan tekanan diferensial untuk pencegahan kontaminasi silang

Konfigurasi tekanan diferensial memblokir udara sekitar yang nyaman dari ruang bersih yang dikendalikan integral:

● ≥ 10 Pa antara zona bersih dan area tidak bersih

● ≥ 10 Pa antara ruang bersih dan lingkungan sekitar luar ruangan

● ≥ 5 Pa antara pembersih dengan perbedaan karakteristik Klarifikasi

Tekanan diferensial ruangan diatur dengan menyesuaikan pasokan udara segar dan volume pembuangan unit udara rias (MAU). Pemicu tekanan positif yang tidak mencukupi dari udara kotor yang tidak tersaring; Hasil tekanan positif yang berlebihan dalam pembukaan pintu yang sulit dan konsumsi energi ekstra yang tidak perlu.